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マイクロフォーカスX線検査装置

モールド品内部やプリント基盤の接線状況を、非破壊で検査・診断するシステムです。

設備

メーカー (株)日立エンジニアリングサービス
型式 HESDRCM-10

基本仕様と基本構成(X線発生器)

管電圧 MAX 130KV
管電流 MAX 0.3mA
焦点寸法 10μm

基本仕様と基本構成(適用試料)

寸法 MAX 200 × 200 × 200mm
重量 MAX 5kg

基本仕様と基本構成(試料テーブル)

寸法 直径 200mm
X軸移動距離 170mm
Y軸移動距離 350mm
Z軸移動距離 300mm
θ軸移動距離 360°
T軸移動距離
  ※θ軸とT軸は現在、使用不可
  ※使用前にウォーミングアップが必要となります。

その他

設置場所 第2研究試作室
導入時期 平成11年3月

センタースケジュールセンタースケジュール

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